隨著全球?qū)Νh(huán)保和資源節(jié)約的重視,半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的半導(dǎo)體含氟廢水處理與回用成為了一個亟待解決的問題。那么半導(dǎo)體含氟廢水的性質(zhì)有哪些?下面就讓...
2024-07-15 528 污水處理
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碳化硅晶片在生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生大量的廢水,這些廢水如果不經(jīng)過處理就排放的話,會對周邊環(huán)境造成嚴重的危害。那么碳化硅晶片廢水主要有哪些?下面就讓三達膜小編為大家詳細介紹有哪些?
?。?)切磨廢水。開方硅錠經(jīng)少子壽命測試后,截斷無效部分,對斷面磨光打平,產(chǎn)生研磨廢水,廢水主要成分為硅粉。
(2)預(yù)清洗廢水。硅錠切片后,用水槍將硅片表面切削砂漿(由切削液和金剛砂配制,主要成分為聚乙二醇和碳化硅)和硅粉噴洗干凈,產(chǎn)生預(yù)清洗廢水。預(yù)清洗廢水水量大、有機物濃度高,是硅片生產(chǎn)廢水中最難處理的一股廢水。
?。?)硅片清洗廢水。檢查合格的硅片采用檸檬酸等浸泡進一步去除表面金屬等雜質(zhì),該股廢水有機物濃度高,但水量較小。
?。?)超聲波清洗廢水。酸洗后硅片采用超聲波技術(shù)用大量超純水清洗,該股廢水水量大,污染較小。廠區(qū)目前生產(chǎn)廢水約960m3/d,已接近滿負荷生產(chǎn)
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